书目详细信息
： 微纳制造与微机电系统
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-079358-4:CNY82.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳制造与微机电系统/.李经民, 刘冲, 王立鼎编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2024 |
| 载体形态项： | 281页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 科学出版社“十四五”普通高等教育研究生规划教材 |
| 提要文摘： | 本书体系严密, 深入浅出, 将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合, 使读者能够更全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。全书共8章, 第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程和未来发展趋势; 第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法; 第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用; 第5章介绍LIGA/准LIGA技术; 第6章介绍MEMS微传感器; 第7章介绍MEMS微执行器; 第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。 |
| 题名主题： | 微机电系统 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 李经民 编著 |
| 个人名称等同： | 刘冲 编著 |
| 个人名称等同： | 王立鼎 编著 |
| 记录来源： | CN SDL 20250418 |