书目详细信息
： 集成电路先进工艺制造
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5478-7044-0:CNY178.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 310000 |
| 题名责任者项： | 集成电路先进工艺制造/.陆卫, 宋艳汝主编 |
| 出版发行项： | 上海:,上海科学技术出版社:,2025 |
| 载体形态项： | 10, 436页:;+彩图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发, 融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术, 深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。通过大量工艺设备的使用案例分析、实验数据、设备操作标准程序和教学实践视频, 帮助读者掌握实际操作。此外, 在介绍当前主流制造技术的同时, 还深入讲解了产业界量产设备的基本原理、动力需求和应用实践。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 陆卫 主编 |
| 个人名称等同： | 宋艳汝 主编 |
| 个人名称次要： | 彭鹏飞 参编 |
| 个人名称次要： | 张妍亭 参编 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20250325 |