书目详细信息
： 微光机电系统(MOEMS)
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-111-19266-4:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微光机电系统(MOEMS)/.张文栋, 熊继军编著 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2006 |
| 载体形态项： | 10,310页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 光机电一体化技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术；重点介绍了各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。 |
| 题名主题： | 微光技术 应用 机电系统 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 张文栋 编著 |
| 个人名称等同： | 熊继军 编著 |