书目详细信息
： 微纳制造与半导体器件
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-75922-5:CNY69.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳制造与半导体器件/.主编周圣军/.参编施浪 ... [等] |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2024 |
| 载体形态项： | 290页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 新工科·普通高等教育机电类系列教材 |
| 相关题名附注： | 英文并列题名取自封面 |
| 提要文摘： | 本书分为3篇, 共12章, 包括半导体基本原理 (半导体材料、能带和PN结)、微纳制造工艺 (掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术)、半导体器件 (器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC压阻式压力传感器、器件仿真软件) 等内容, 对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了详细的介绍。 |
| 并列题名： | Micro and nano manufacturing and semiconductor devices eng |
| 题名主题： | 半导体器件 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN303 |
| 个人名称等同： | 周圣军 主编 |
| 个人名称次要： | 施浪 参编 |
| 个人名称次要： | 廖喆夫 参编 |
| 记录来源： | CN SDL 20250418 |