书目详细信息
： 反应性气体等离子体理论及应用研究
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5661-3167-6:CNY40.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 题名责任者项： | 反应性气体等离子体理论及应用研究/.刘相梅著 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,哈尔滨工程大学出版社:,2021 |
| 载体形态项： | 122页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书是对低温等离子体中反应性气体放电特性的研究。全书内容主要分为两篇：第一篇为低温低气压反应性气体放电，介绍了低温等离子体放电的基础知识、研究了射频SiH4放电特性和二维甚高频放电中相位差对SiH4、SiH4/H2等反应气体放电特性的影响，以及SiH4/NH3/N2等反应气体放电特性；第二篇为低温大气压反应性气体放电，介绍了低温大气压等离子体放电的基础知识、大气压乙炔微等离子体放电，以及乙炔微放电中模式转换现象。 |
| 题名主题： | 低温 等离子体 放电 研究 |
| 中图分类： | O461 |
| 个人名称等同： | 刘相梅 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20220301 |