书目详细信息
： 微机电系统设计与制造
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5025-5237-5:CNY30。00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计与制造/.莫锦秋。。。[等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2004 |
| 载体形态项： | 177页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 光机电一体化丛书 |
| 提要文摘： | 本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出的介绍。全书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节，微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理，先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术，多种设计手段和实用软件。 |
| 题名主题： | 微机电系统 高等学校 教学参考资料 |
| 中图分类： | TN402 |
| 个人名称等同： | 莫锦秋 编著 |
| 个人名称等同： | 梁庆华 编著 |
| 个人名称等同： | 汪国宝 编著 |
| 个人名称等同： | 王石刚 编著 |
| 记录来源： | CN CXYBOOK 20050328 |