书目详细信息
： 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-069254-2:CNY128.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/.顾长志等编著 |
| 版本项： | 第2版 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2021 |
| 载体形态项： | xi, 404页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 中国科学院大学研究生教材系列 |
| 提要文摘： | 本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术，自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。 |
| 题名主题： | 纳米材料 新技术应用 研究生 教材 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 顾长志, 编著 |
| 记录来源： | CN 广东新华发行集团股份有限公司 20210712 |