书目详细信息
： 钼靶材及其薄膜制备技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-070385-9:CNY118.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 钼靶材及其薄膜制备技术/.谢敬佩 ... 等著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2022 |
| 载体形态项： | x, 189页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手, 研究了原材料及还原工艺对钼粉性能的影响和烧结钼的热变形行为, 分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响, 确定了钼靶材的制备工艺, 实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化, 探究其对金属钼薄膜结构和光电性能的影响, 从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。 |
| 并列题名： | Preparation technology of molybdenum target and Its thin film eng |
| 题名主题： | 钼 金属薄膜 制备 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 谢敬佩 著 |
| 记录来源： | CN SDL 20230420 |