书目详细信息
： 微机电系统设计及应用探究
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5578-8047-7:CNY86.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 220000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统设计及应用探究/.吴倩楠著 |
| 出版发行项： | 长春:,吉林科学技术出版社:,2021.05 |
| 载体形态项： | 177页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。 |
| 题名主题： | 微电机 系统设计 应用 研究 |
| 中图分类： | TM380.2 |
| 个人名称等同： | 吴倩楠, 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20220701 |